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AMD、300mmウエハ製造に向けて
APM（自動調整製造）イノベーション・センターを2カ所に新設
—第3世代APMがAMD Fab 36の「中枢神経系」に—
—歩留まりの最大化、製造コストの最少化に向けた過去10年の進歩をさらに推進—
-- 2004年4月23日 -- このプレス・リリースは、米国オースティンおよび独ドレスデン4月19日発
英文リリースの抄訳です。
AMD（本社：米カリフォルニア州サニーベール、社長兼CEO:ヘクター・ルイズ）は本日、米テキサス州オースティンと独ドレスデン市に、「自動調整製造（APM＝Automated Precision Manufacturing）イノベーション・センタ」を開設した、と発表しました。
APMは、最先端ファブ（製造施設）で用いられる自動化・最適化を可能とするもので、AMDの250以上に上る特許技術で構成されています。新技術導入時の歩留まり向上のスピーを短縮し、製造コストの削減を図ります。
新センターは、ドレスデンに建設中の300mmウエハ製造施設AMD Fab 36に、AMDの製造技術者とソフトウェア設計者がAPMの次世代バージョン「APM 3.0」を統合する目的で利用します。
AMDのGary Heerssen（ゲリー・ハーセン、コーポレート・マニュファクチャリング・グループ担当副社長）は、次のように述べています。「このようにAPMの早期統合を図ることで、完全に自動化された工程をAMD Fab 36で迅速かつ効率的に稼働することが可能となるほか、計画を予定通りに進めることができます」
APMイニシャティブは、非常に複雑なマイクロアーキテクチャの製造に要求される、高精度な製造能力の確立を目的として、AMDで10年以上も前に始まりました。
APMの現行バージョンであるAPM 2.0は、200mmウエハの製造に固有の要件に合わせて設計されており、現在、AMD Fab 30とFASL LLC Fab 25の両製造施設でフル稼働しています。
Heerssenはまた、次のようにも述べています。「APMの分野でもAMDは業界をリードしています。それを可能にしているのは、歩留まり向上を迅速化するファブ自動化技術です。AMDではここ3年間で新設計に移行し、トランジスタ数は3倍の1億トランジスタへと増えたにもかかわらず、APM 2.0と、AMD Fab 30の優れた人材のおかげで、プロセッサ製品の量産化までに必要なシリコンウエハの量を3年前のわずか数分の1に抑えています。イノベーション・センタでの活動は、こうした機能の拡張・向上を通じて、300mmウエハ製造の優れたコスト優位性を一層強化することを目指しています」
AMD Fab 30では現在、APM 2.0が、ファブ全体に配置された何百ものツールとの統合的な通信・制御回路網を形成し、一種の「中枢神経系」として機能しています。この高度に統合された先進の製造インフラは、加工ウエハが出入りする過程で、ツールセットからデータを収集・分析して、生産中のマイクロプロセッサの状態を絶えずモニタリングします。
APMは、リアルタイムでデータを分析し、ファブ内を搬送されるウエハ・グループのルーティング修正や各ツールで使用される製法の変更を一貫して自動的に提案し、最終的なチップ性能の最適化を図ります。
APM 3.0はAMD Fab 36にて同様の役割を果たし、しかも、従来のAPM 2.0に比べて精度や集積度、自動化レベルが向上しています。
米VLSIリサーチ社のDan Hutcheson氏（社長）は次のように述べています。「AMDは現在、おそらく64ビット・コンピューティングのリーダ企業として最もよく知られているでしょう。しかし、AMDは目立たず着実に、同じくAMDの成長計画に重要な『高効率・高生産性の製造』でもトップの座を築いてきました。APMを進めたその先見性と努力は大きな成果を上げました。現在、ファブ自動化、精度、集積度でAMDのレベルに近づける半導体メーカはほとんどありません」
APM 3.0の効率・精度向上は主として次の3分野が対象となります。
- ウエハ・レベル・コントロール - コントロール精度の向上により、ウエハ・グループ単位ではなく個々のウエハ単位での製法調整が可能になります。
- インライン歩留まり予測 - 欠陥品管理の精度向上により、歩留まり向上の学習を迅速化できます。
- アクティブ・スケジューリング - APMの通信構造に組み込まれたインテリジェントなウエハ搬送容器が、ウエハが最適に処理されるファブ内搬送経路を自動的に判断します。
Hutcheson氏はさらに次のように述べています。「現在、まだ半導体メーカの大半がごく基本的なレベルの製造装置統合・自動化に着手したばかりだというのに、AMDはすでに、ウエハレベルの自動工程制御やインラインの歩留まり予測、ウエハのアクティブ・スケジューリングなどの次世代機能でリードを広げています。これらの技術は、AMDの300mmウエハ製造に大きな優位性をもたらすことでしょう」
AMDについて：
AMD（NYSE:AMD）は、コンピュータ業界、通信業界、家電業界向けのマイクロプロセッサ、フラッシュメモリ、低消費電力プロセッサ・ソリューションを設計・製造しています。AMDは、同社のお客様が、多岐にわたるテクノロジ・ユーザ（大企業、政府機関、個人消費者など）に対して標準ベースかつお客様志向のソリューションを提供できるよう、その支援に尽力しています。1969年に創立されたAMDは、Standard & Poor’s 500構成銘柄であり、米国、ヨーロッパ、日本、アジアに営業・製造拠点を構えるグローバル企業です。詳細については、。www.amd.comをご覧ください。
AMD、AMD Arrowロゴ、ならびにその組み合わせはAdvanced Micro Devices, Inc.の商標です。その他すべての企業名、ブランド名、および製品名は、一般に各企業の登録商標または商標です。
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