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AMD、Extreme Ultra-Violet（EUV）リソグラフィでテストチップを製造
− AMDとIBMが共同で“全範囲をカバーした（Full-Field）”EUVリソグラフィを利用した
初のテストチップを製造、EUVリソグラフィのファブ工程標準化への統合能力を示す −
-- 2008年2月26日 --このプレスリリースは、米国サニーベール2月26日発英文リリースの抄訳です。
AMD（本社：米カリフォルニア州サニーベール、会長兼CEO:ヘクター・ルイズ）は本日、同社の研究パートナであるIBMと共同で、Extreme Ultra-Violet（以下EUV）リソグラフィ（極端紫外線露光技術）を利用した研究開発用テストチップを製造したと発表しました。EUVリソグラフィは、チップ全体にわたって金属配線の第1層に利用されています。これまでのEUVを利用した研究開発用チップ部品の製造プロジェクトは、あくまで“狭い範囲（narrow field）”に留まり、チップ設計のごく一部しかカバーしていませんでした。AMD、IBM、ニューヨーク州立大学アルバニー校ナノスケール科学工学カレッジ（CNSE）のAlbany Nanotech Complexらの今回の共同研究は、AMDのブルーノ・ラ・フォンテイン博士（Dr. La Fontaine）によって、2008年2月26日に開催されたSPIE Advanced Lithographyにおけるコンファレンスにて初めて発表されました。“全範囲をカバーした（full-field）”EUVリソグラフィは、AMDの45nmノード・テストチップ全体（22mm x 33mm）のファブ工程へ統合可能であると、本論文では示されています。
ラ・フォンテイン博士は次のように述べています。「EUVリソグラフィが今後の半導体製造に果たす役割を示すことができれば、将来チップサイズが縮小することにつながり、業界関係者は大きなメリットを享受することになります。業界がEUVリソグラフィを大量生産向けに採用するにはなお多くの課題が残されていますが、AMDは今回、半導体ファブへの統合が可能であり、チップ全体にわたって金属配線の第1層を生産できることを示したのです」
David Medeiros氏（Manager of Patterning Research for IBM in Albany, NY）は次のように述べています。「共同研究は半導体の研究推進に欠かせません。ここアルバニー施設での協業を通じ、EUVインフラのあらゆる側面を集中的に評価できます。この技術を製造へ利用する上でこの上なく有意義な試験が実現するでしょう」
リソグラフィは、マイクロプロセッサなど数多くのトランジスタが含まれた非常に複雑なチップ設計をシリコン・ウェハへと転写する技術で、チップ製造に必要な多数の層に対して行うものです。チップの機能追加や性能向上に伴い、トランジスタのサイズは小さくなり、所定の面積に配置できるトランジスタの数も増えます。トランジスタや金属配線のサイズは、チップ設計をウェハへ転写する光の波長と直接関係しています。EUVリソグラフィの波長は13.5nmで、現在の193nmリソグラフィよりもはるかに短く、今なお続くチップのスケーリングを推進していきます。
このAMDテストチップは、まず現在生産に使用されているリソグラフィでは最先端の193nm液浸リソグラフィを利用して、ドイツ・ドレスデンにあるAMDのFab 36にてトランジスタまで加工されました。本テストチップはその後ニューヨーク州アルバニーのナノスケール科学工学カレッジ（CNSE）にあるIBMの研究施設へと送られました。そこで、ASML、IBM、CNSEが協力してアルバニーに設置したASMLのEUVリソグラフィ・スキャナを用いて、トランジスタ間の金属配線の第1層がパターン化され、さらに、エッチングおよび金属デポジション工程を経た後、AMDにて電気試験を行いました。トランジスタは193nmの液浸リソグラフィで作製したテストチップとほとんど同一の性能を示しました。このウェハは、更に標準的なファブ工程で多層配線工程を経、その後本テストチップの大規模メモリアレイがテストされる予定です。
EUVリソグラフィ生産への応用可能性を確かなものにする次のステップは、金属配線だけでなく全てのクリチカル層に適用し、完全に動作するマイクロプロセッサがEUVリソグラフィを用いて生産できることを示すことです。国際半導体技術ロードマップ（ITRS）は22nmハーフピッチ・ノードが2016年に達すると予測しており、その年以前にEUVリソグラフィの生産実用性が完全に確立される必要があります。
AMDについて:
AMD（NYSE:AMD）は、コンピュータ業界、グラフィックス、家電業界向けに革新的なマイクロプロセッサ・ソリューションを提供するグローバル・プロバイダです。AMDは、世界中のコンシューマおよびビジネス分野のお客様を支援する、徹底したお客様中心主義の理念に基づくソリューションを提供します。それにより、オープンな技術革新の促進、選択肢の拡大、さらに業界の発展に向けて努力します。日本AMD株式会社は、AMDの日本法人です。詳細については、www.amd.com（英語）または http://www.amd.co.jp （日本語）をご覧ください。
AMD、AMD Arrowロゴ、およびこれらの組み合わせはAdvanced Micro Devices, Inc.の商標です。その他の名称は情報提供のみを目的として使用されており、それぞれの所有権者の商標の場合があります。
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